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主要用于半導體及液晶制造工序檢測使用的藥液、純水等的液面或漏液、晶元匹配用光纖單元或LED等微小部品的落下檢測用光纖單元等特定用途的光學式傳感器系列。
主要用于檢測半導體?液晶制造時的露光、洗凈、熱處理工序所使用的藥液、純水等的液面、漏液，采用獨自的光學系實現了穩(wěn)定檢測、省空間，支持失效保護。 晶元匹配時使用的狹光光纖單元、LED等微小部品的落下檢測用光纖單元采用適合用途的光學設計及筐體設計，使高檢測性能與省空間得到了統(tǒng)一，減少了調整工時，也提高了維護性。
| 外觀 | 產品名/型號 | 用途 | 海外標準 |
|---|---|---|---|
 | 管安裝液面光纖 HPF-T032/HPF-T034 | 用于罐液面的上下限檢測的2種檢測方式、對應失效保護。 | - |
 | 放大器內置管安裝液面?zhèn)鞲衅?br/>HPQ-T Series | 只需安裝在管上即可簡單地檢測液面。 |  |
 | 罐插入光纖 HPF-D027/HPF-D033 | 全樹脂構造物無金屬污染。 | |
 | 放大器內置漏液傳感器 HPQ-Dseries | 放大器內置、不需吸紙，可對應多種液體。 （酸?堿系藥液及IPA、純水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測） |   * 詳情請向本公司銷售部門咨詢 |
 | 放大器內置漏液傳感器 HPQ-DP Series | 放大器內置、不需吸紙，可對應多種液體。 （純水、工業(yè)水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測） | |
 | 漏液傳感器 HPF-D040 | PFA保護本體和纜線、省空間。采用光纖方式可在防爆環(huán)境使用。 | - |
 | 小型部品通過檢測用光纖 HPF-T047 | 根據管徑匹配的適配器可提高了檢測穩(wěn)定性 | - |
 | 晶元匹配用光纖 HPF-T030 | 能可靠地檢測FOUP、開放式盒內的300mm晶元 | - |
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